摘要

随着移动通信领域尤其是近年来智能手机与平板电脑的飞速发展,对于射频功能模块的小型化集成化低功耗的要求越来越高。射频电路无线收发器是移动通信模块的核心结构,其中包括射频预选回路、低噪声放大器(LNA)、压控振荡器(VCO)和中频滤波器(IF Filter)在内的模块都运用到了电感元件。这些基本模块的性能,包括增益、噪声系数、功耗等都与电感的性能息息相关。电感的品质因数Q越高,模块所能达到的性能也就越好。因此如何将电感集成到芯片内,与CMOS工艺先兼容,并且实现低功耗高性能,是射频集成电路的关键。 常规的各类平面单层螺旋电感占据了整个射频电路的很大面积,对于减少整个芯片的面积以及成本而言都是...