科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
离子束溅射镀膜机是半导体行业三大真空镀膜设备之一,广泛应用于传感器、微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中。对离子束溅射镀膜设备结构和工艺进行研究,设计一套满足自动上下料、高精度温度控制、束流跟随控制的控制系统,介绍控制系统下位机PLC和上位机监控软件设计思路,并给出相关软件设计流程图。
- 单位
离子束溅射镀膜机是半导体行业三大真空镀膜设备之一,广泛应用于传感器、微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中。对离子束溅射镀膜设备结构和工艺进行研究,设计一套满足自动上下料、高精度温度控制、束流跟随控制的控制系统,介绍控制系统下位机PLC和上位机监控软件设计思路,并给出相关软件设计流程图。
