透明导电薄膜属于存在视觉层面上的透明度,也存在导电能力的薄膜材料,具体包含了金属导电薄膜、氧化物导电薄膜、其他化合物导电薄膜等。本文主要讲述当前研究和应用最为广泛的透明导电氧化物(TCO)薄膜,介绍了了透明导电氧化物薄膜的特性,制备方法,应用以及发展趋势。