基于MEMS工艺的集成爆炸箔起爆器研究

作者：郭宁; 周文渊; 李建; 李鸿高; 朱朋; 沈瑞琪; 陈楷

来源：上海航天, 2019, 36(S1): 120-126.

DOI：10.19328/j.cnki.1006-1630.2019.S1.020

• MEMS工艺
• 集成爆炸箔起爆器
• 最佳设计参数
• 性能表征

针对传统爆炸箔起爆器功耗高、体积大等问题,对基于MEMS工艺制备的低功耗、小型化集成爆炸箔起爆器进行研究。从仿真设计、工艺制备和试验表征3个方面对集成爆炸箔起爆器进行了较为系统的研究。试验结果表明:运用MEMS工艺制备的集成爆炸箔起爆器可成功起爆HNS炸药,采用PC/Cu复合飞片与SU-8光刻胶等新型材料集成制备爆炸箔起爆器是可行的。

• 单位
  南京理工大学; 华东微电子技术研究所