摘要
分别添加质量分数为3%的CaF2和Y2O3为烧结助剂,在相同烧结工艺制度下采用放电等离子烧结(sparkplasmasintering,SPS),制备了两种半透明AlN陶瓷。两种样品有相近的密实度和晶粒尺寸,但是它们的透过率却相差很大。用扫描电镜,X射线衍射分析和透射电镜结合能量散射型X射线光谱分析仪对样品微观结构进行分析。结果表明:晶界相的存在及分布方式对样品透过率有重要影响。添加CaF2的样品表现出很高的纯度,晶界及三角晶界处观察不到第二相。添加Y2O3的样品中,由于生成的晶界相Y3Al5O12沿AlN晶界分布,阻隔AlN晶粒之间的连接,在晶界处造成光散射,导致样品透过率下降。
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单位武汉理工大学; 材料复合新技术国家重点实验室