超精密光栅尺位移测量系统

作者：党宝生; 熊显名^*; 王献英; 张文涛

来源：激光杂志, 2018, 39(09): 42-46.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2018.09.042

• 光刻机
• 位移测量
• 光栅尺
• 测量一致性

针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量系统原理验证实验、测量一致性实验和测量稳定性实验。实验结果分别表明:光栅尺位移测量系统原理正确;光栅尺和激光干涉仪位移测量系统间测量结果的差值小于16.67nm的置信度为0.95,具有良好测量一致性;光栅尺位移测量系统具有较好的抗干扰能力,鲁棒性强,能够满足光刻机运动台位移测量需求。

• 单位
  桂林电子科技大学; 自动化学院