本实用新型公开了基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统,其特征是探头采用不锈钢针管为保护套,所述保护套内沿其轴向平行设置两根FBG光纤测杆,所述两根光纤测杆一端与保护套固定,另一端悬空以进行测量；其中一根光纤为测量光纤,其测杆端部具有伸出保护套外的测球,另一根光纤测杆为补偿光纤,包覆在保护套,其端部经熔烧加工形成封闭端。本实用新型微位移传感器系统具有灵敏度高、稳定性好、长径比大、抗干扰性强等优点,可广泛用于微器件、微结构、微尺寸的微纳米量级的位移参数测量。
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