不等高梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法

作者：许高斌

来源：2012-04-04, 中国, CN201110190985.5.

本发明公开一种不等高梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法，所述传感器包括位于硅衬底上的X、Y轴向加速度的检测单元和Z轴向加速度的检测单元，其中：所述X、Y轴向加速度的检测单元包括：检测X、Y轴向加速度的敏感质量块、L型支撑弹簧梁、等高梳齿差分电容敏感可动梳齿电极对以及固定梳齿电极对；所述Z轴向加速度的检测单元包括：两个用于检测Z轴向加速度的敏感质量块、一字型支撑弹簧梁以及不等高梳齿差分电容敏感电极对。本发明使用三个独立的敏感单元和不等高梳齿差分电容电极结构实现对三轴加速度的无交叉干扰检测。采用MEMS体硅和浅刻蚀工艺，制备工艺的一致性和重复性好，有较高的检测灵敏度、可靠性和稳定性。