摘要

全固态薄膜锂电池(TFLB)是理想的微电子系统电源。目前报道的固态非晶电解质存在离子电导率偏低的问题,限制了TFLB性能的提升。本工作采用磁控溅射法制备了一种新型非晶锂硅氧氮(LiSiON)薄膜用作TFLB的固态电解质。结果表明,优化制备条件后的LiSiON薄膜具有6.3×10–6S·cm–1的高离子电导率以及超过5V的宽电压窗口,适合作为TFLB的电解质。在LiSiON薄膜电解质的基础上,本工作构建了MoO3/LiSiON/LiTFLB并获得高的比容量(50mA·g–1下282mAh·g–1)、良好的倍率性能(800mA·g–1下50mAh·g–1)和可观的循环寿命(200次循环后容量保持率为78.1%),验证了该电解质在薄膜电池中应用的可行性。