“高性能表面抛光加工方法”专题序言

作者：孙玉文

来源：表面技术, 2020, 49(04): 10.

<正>目前对集成电路晶圆、硬脆软脆材料光学元件、增材制造复杂结构件等高性能零件的需求日益高涨,而抛光加工是这些高性能零件精密加工中一道关键工序,抛光加工质量对零件服役性能有至关重要的影响。高性能零件制造离不开高性能表面抛光加工机理与技术研究,所以策划本期"高性能表面抛光加工方法"专题,分享本领域研究进展,推动技术进步。