多晶硅铸锭炉热场结构的改进与模拟

作者：罗玉峰; 宋华伟; 张发云; 饶森林; 彭华厦; 王发辉

来源：热加工工艺, 2014, 43(13): 64-68.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2014.13.063

• 多晶硅
• 凹坑坩埚
• 热场
• 数值模拟

在多晶硅铸锭炉内采用了凹坑坩埚和凹坑坩埚平台组合的改进结构,并结合COMSOL4.3a模拟软件对改进前后的热场做了对比分析。结果表明:与改进前相比,在改进后的热场结构中,硅熔体结晶界面趋于平坦,等温线更加均匀,熔体轴向温度梯度增加了大约2 K/cm,有利于柱状晶的生长;硅熔体对流强度增大,可以使溶质分布更加均匀;GL/VS变大、溶质边界层厚度减小,有利于阻碍结晶界面前沿发生组分过冷,进一步抑制结晶界面细晶的产生。

• 单位
  南昌大学机电工程学院; 江西省高等学校硅材料重点实验室; 新余学院