喷墨打印技术制备氧化物薄膜晶体管

作者：杨小天; 王冠达^*; 史恺; 李旭

来源：长春工业大学学报, 2019, 40(03): 306-312.

DOI：10.15923/j.cnki.cn22-1382/t.2019.3.18

• 氧化物薄膜晶体管
• 喷墨打印
• 氧化物墨水
• 退火处理

回顾了氧化物薄膜晶体管的优势及其发展应用,介绍氧化物墨水的类型选择、喷墨打印制备过程、薄膜图案退火等工艺过程,以及相关工艺国内外研究情况。总结了喷墨打印技术制备薄膜晶体管工艺的优势。

• 单位
  吉林建筑大学