多孔阳极氧化铝膜的制备及其膜结构影响因素研究

作者：宋海媚; 李顺灵; 王立杰; 张琰; 董梦果; 杨清香; 陈志军

来源：轻工学报, 2017, 32(05): 49-56.

• 阳极氧化
• AAO膜
• 原子力显微镜
• 有序性

以铝为模板,通过二次阳极氧化法制备多孔阳极氧化铝(AAO)膜,利用原子力显微镜观察AAO膜的微观形貌,分析退火处理、电化学抛光处理、阳极氧化电压、阳极氧化时间等因素对AAO膜结构的影响,结果表明:AAO膜的物相为非晶态,但经高温退火处理所得AAO膜会被部分晶相化;电化学抛光能有效改善孔洞分布的均匀性.当氧化电压在4055 V范围内,AAO膜的孔径随着阳极氧化电压的升高而增大,膜孔洞结构排布的有序性也得到增强;膜孔孔径大小分布在40100 nm之间;阳极氧化时间对膜的孔径没有显著影响;当电解液温度在020℃范围内,AAO膜的孔径随着电解液温度的升高而减小,且AAO膜的有序性也随之增强.

• 单位
  郑州轻工业学院