介绍了在TFT-LCD液晶基板玻璃半成品加工时容易产生颗粒的工序和设备情况,颗粒度超标时对下游LCD面板生产造成的影响。为了对策颗粒度超标的问题,在MES系统中引入了颗粒叠加图数据图形分析功能,并应成功用于实际生产线中,效果显著。