颗粒叠加图在液晶基板玻璃工艺对策中的应用

作者：李青; 高俊杰; 李赫然; 刘文泰

来源：制造业自动化, 2016, 38(12): 20-22.

DOI：10.3969/j.issn.1009-0134.2016.12.006

• TFT-LCD
• 颗粒
• 颗粒度
• MES
• 颗粒叠加图

介绍了在TFT-LCD液晶基板玻璃半成品加工时容易产生颗粒的工序和设备情况,颗粒度超标时对下游LCD面板生产造成的影响。为了对策颗粒度超标的问题,在MES系统中引入了颗粒叠加图数据图形分析功能,并应成功用于实际生产线中,效果显著。