电子轰击有源像素传感器光谱响应测试系统设计

作者：严毅赟; 钱芸生^*; 张景智; 韩坤; 郑舟; 柳磊

来源：激光与光电子学进展, 2022, 59(13): 123-128.

• 探测器
• 电子轰击
• 有源像素传感器
• 光谱响应
• 测试系统
• 电子数

电子轰击有源像素传感器(EBAPS)是一种利用真空技术将光阴极、电子敏感有源像素传感器(APS)芯片和基座封装成的真空-固体混合型微光器件。积分灵敏度是 EBAPS 重要的性能参数之一，但国内目前还缺乏相应的测试手段。因此，基于 EBAPS 的工作原理和微光像增强器的光谱响应测试方法，用数字-电子转换因子和输出信号得到的电子数对光谱响应度进行表征，并设计了 EBAPS 的光谱响应测试系统。利用该系统获得了 EBAPS 器件在-800 V 工作电压下的光谱响应曲线，器件的积分灵敏度为 3. 2×108(s·lm)-1，重复度为 0. 65%。

• 单位
  南京理工大学; 微光夜视技术重点实验室