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摘要
阐述KLA 3xx系列机台可提供光掩模缺陷检测、量测和数据分析处理,能够协助光掩模制造商识别光掩模缺陷和图案位置错误,降低良率风险。由于该系列机台大多是在1990年代中期制造,受计算机操作系统处理能力和硬件空间限制,严重制约了它的产能利用。利用新型IBM服务器硬件性能和Synopsys公司CATS软件技术相结合的应用优势,设计一套独立于3xx系列机台的数据准备扩展系统,通过将处理后的数据导入3xx系列机台直接用于光掩模缺陷检测的方式,可实现对3xx系列机台产能的最大化利用。
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单位上海凸版光掩模有限公司
