多晶硅薄膜的制备方法

作者：胡志鹏

来源：电器工业, 2009, (12): 53-58.

• 多晶硅薄膜
• 晶粒尺寸
• 沉积速率
• 非晶硅薄膜
• PECVD
• 硅薄膜太阳能电池
• 非晶硅膜
• 多晶硅太阳能电池
• 金属诱导晶化
• 固相晶化过程
• 结晶硅
• 太阳电池
• 制备方法

为了减少材料浪费、降低成本,单晶硅和多晶硅太阳能电池都在朝薄型化发展。目前晶体硅薄膜电池的晶粒大小从纳晶直到毫米级,光伏界将它们统称为多晶硅薄膜太阳能电池。