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摘要
微定位平台是能够实现微米级别定位或调整精度的柔性微动系统。扩大运动行程、提高固有频率是微定位平台的主要研究问题,通过三个放大机构相互制约,相互影响,设计一种大行程、高刚度、结构紧凑的平面三自由度微定位平台。平台的驱动方式采用压电驱动,压电陶瓷采用并联的方式。介绍了该平台的建模、计算和仿真分析。设计的平台的X和Y方向运动范围为185.8μm。载物台为边长32 mm的等边三角形,有效提高了结构的刚度和稳定性。
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单位电子科技大学; 湖北文理学院
