多晶硅生产企业产生的废气一般为含氯硅烷的混合废气,需经碱洗处理后才可无害排放,在废气及废水处理中设备选型必须考虑碱洗后废液中的氯离子及Si O2等对设备及管道的磨蚀,本文将着重针对多晶硅企业中废气及废水中工艺管道的选型进行阐述。