DMD数字微镜驱动控制系统分析及其应用

作者：姜兆华; 吴宾初; 潘涌; 安博言; 骆公序; 张伟

来源：应用激光, 2012, (03): 212-216.

• DMD
• DMD驱动控制
• 二进制脉宽调制
• 灰度投影光刻
• DLP技术
• 激光投影 DMD
• DMD drive control
• binary pulse width modulation
• gray-level projection photolithography
• DLP technology
• laser projection

数字微反射镜器件(DMD)是数字式光处理(DLP)投影显示技术的核心,有着巨大的应用潜力。叙述了DMD的控制原理和特点。首先,基于DMD数字微镜控制器的驱动控制系统和采用二进制脉宽调制(BPWM)技术精确控制光源,接收PC机传输的实时图像显示数据,生成控制DMD翻转的控制时序及其复位脉冲信号,搭建了蓝光半导体激光投影光刻装置,实现了高分辨率灰度图像的分层曝光和曝光量的精确控制;其次,基于DLP投影系统,采用RGB激光源,通过光纤耦合和合束,建立了激光投影实验装置。

• 单位
  上海市激光技术研究所