LTCC基板烧结收缩率一致性提升研究

作者：王亚东; 张潇; 杨兴宇; 秦超

来源：科技创新与生产力, 2021, (05): 74-76.

• LTCC
• 烧结收缩率
• 层压
• 一致性

烧结收缩率是LTCC基板制造中的一项关键性技术指标,受材料和生产工艺的影响较大,导致其一致性差,致使基板尺寸难以精确控制。本文主要讨论了层压和烧结工艺对LTCC基板烧结收缩率的影响,并提出了改进方案。通过设计实验,验证了改进方案的有效性,提升了LTCC基板烧结收缩率的一致性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所