<正>半导体材料是对导电性介于电介质和导体材料导电性能之间的材料概括[1]。由于半导体材料的性能优势及产业带动作用,其发展异常迅猛,至今已更迭至第3代。第1代半导体材料诞生于20世纪50年代,主要是指以硅(Si)、锗(Ge)元素为代表的半导体材料,是一切逻辑器件的基础,主要用于各类分立器件,并且在极为普遍应用的集成电路、