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摘要
本发明涉及一种平面两自由度柔顺精密定位平台,包括载物台和多个柔顺铰链；载物台周向均布有4个五杆位移放大机构；每个五杆位移放大机构包括驱动源、由驱动源驱动的对称式杠杆位移放大机构、串联于对称式杠杆位移放大机构的半菱形位移放大机构；半菱形位移放大机构通过柔顺铰链连接于载物台。驱动源的输出能够通过对称式杠杆位移放大机构和半菱形位移放大机构的二级放大,通过柔顺铰链传递到载物台并带动载物台运动,结合采用无导向梁的推挽输出的对称构型布局,可以将精密定位平台的整体尺寸控制得相对较小,结构更加紧凑,运动惯量很小,可以实现解耦的两自由度运动、相对较高的输出位移以及较高的运动带宽。
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