摘要
采用普通陶瓷工艺制备石榴石旋磁铁氧体/介质陶瓷高温共烧复合基板,分析了过渡区物相组成与微观结构。通过SEM、XRD和TEM测试表征,分析了元素扩散情况、晶体结构、晶面指数和晶面间距,考察了不同过渡区的物相组成和元素分布。研究发现在近陶瓷侧过渡区元素扩散反应较为剧烈,元素分布不均匀,形成了新的物相Mg1.8Ti1.1O4和Mg2TiO4,扩散反应对铁氧体侧晶体结构影响较小。
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单位西南科技大学; 中国电子科技集团公司第九研究所