基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制

作者：徐浩东; 金丽; 吴倩楠; 王兵权; 彭海峰; 李孟委^*

来源：传感器与微系统, 2023, 42(12): 83-86.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)12-0083-04

• 泰伯效应
• 加速度计
• 光栅
• 闭环控制

提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计，通过理论分析与有限元仿真软件相结合，验证了光栅MOEMS加速度计检测机理，同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外，为了提升其线性工作范围，采用电磁驱动的方式进行闭环控制。采用通电导线在磁场中产生的安培力来平衡加速度计产生的惯性力，以达到闭环反馈控制，理论上可将加速度计的线性工作范围从0.83 gn提升至4.32 gn,提升近5倍左右。

• 单位
  中北大学