摘要

本发明公开了一种基于砷化镓工艺的介质集成波导滤波器,滤基于多模谐振腔研制而成,通过合理的设计多模谐振腔的尺寸可以使得电磁波在多模谐振腔内产生电磁相消现象,从而可以产生传输零点;通过采用改变腔体长宽比的技术手段,可以使得传输零点的位置变得可控,因而可以在滤波器在靠近通带的低端和高端分别设计一个传输零点,使得该滤波器具有高频率选择性;采用70um砷化镓工艺研制而成,两端均为GSG结构,该滤波器芯片可以与其他基于70um砷化镓工艺的W波段有源芯片集成;既可以采用芯片-芯片的直接互联形式,也可以直接将该滤波器和其它芯片集成在同一个芯片上。