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摘要
为了分析稀疏孔径系统子镜的位置误差对成像质量的影响，建立一个稀疏孔径系统模型，在包含系统多种真实像差的基础上得到斯特列尔比与子镜位置误差的关系曲线，得出位置误差的公差容限，结果显示子镜倾斜误差会引起像点的漂移，沿着X、Y轴的离轴误差对于系统的成像质量影响较小，沿着Z轴的子镜单元之间的法向位移误差(piston误差)对系统的成像质量影响较大，在系统进入成像应用之前需要调整子镜展开后相对于理想位置的误差沿着光轴方向不超过50 nm,倾斜误差则在X、Y两个自由度上需要控制在0.000 05°的范围内。研究结果对于校正子镜位置误差具有一定的参考价值。
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