针对工件测量尺寸精度受到物距和光源强度影响的问题，开展了基于物距和光源强度反馈的测量精度补偿研究。提出一种基于系统像素当量标定值和光源强度像素数误差量串行耦合的综合补偿方法，首先根据物距变化动态调整系统像素当量标定值；然后通过不同光源强度下的标准件实测像素数，建立光源强度像素数误差量模型；最后对图像物理尺寸测量结果进行综合补偿实验。实验结果表明：综合补偿法能够有效提高尺寸测量的精度，使测量误差小于14μm。
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