大过载真空传感器结构优化设计

作者：王铁玲; 刘宝伟; 吕颖; 陈宝成; 马莎; 浦龙

来源：传感器与微系统, 2019, 38(06): 102-108.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)06-0102-03

• 电容式传感器
• 结构优化
• 有限元仿真
• 阻尼管
• 容腔

针对大过载(700～800倍)使得真空传感器的电容薄膜电极发生塑性变形,导致传感器失效的问题,根据动量定理,在真空传感器的气体输入端增设阻尼管及一定体积的容腔,延缓气团冲击电容薄膜电极的时间,达到保护电容薄膜电极的目的。通过有限元仿真分析,初步确定阻尼片的排列方式及阻尼孔的分布,并将优化后的真空传感器在真空测试装置中进行模拟试验,验证结构优化的有效性,并得到阻尼片的最优排列及与之匹配的容腔体积。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所