ZnO薄膜硅微压电矢量水听器

作者：李俊红; 魏建辉; 马军; 任伟; 刘梦伟; 汪承灏

来源：声学学报(中文版), 2016, 41(03): 273-280.

DOI：10.15949/j.cnki.0371-0025.2016.03.001

• 水听器
• 水声换能器
• 压电加速度计
• 压电式加速度计
• MEMS
• 加速度灵敏度
• 电矢量
• ZnO
• 微压

提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计。研制了MEMS压电加速度计,并装配后构成MEMS矢量水听器。测试结果表明:加速度灵敏度在201,200 Hz范围内约为0.83 mV/(m/s2)。经过液柱法测量,在1 kHz时,MEMS矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 dB(ref.1V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB以上。

• 单位
  声场声信息国家重点实验室; 中国科学院声学研究所