使用飞秒激光微加工中心对单晶硅片等材料进行微尺度结构加工时,需保证硅晶片表面、边缘的完好,无瑕疵、污渍及划痕等缺陷。提前识别有破损的晶片对保证飞秒激光烧蚀样品的顺利进行具有实际意义。以飞秒激光烧蚀的单晶硅片为实验样品,分别针对以下一些瑕疵的视觉检测策略进行了研究:硅晶片表面划痕检测、表面污渍检测、边缘瑕疵与破损检测以及硅晶片边缘直线或曲线检测。经实验验证,提出的针对各种晶片表面瑕疵的检测策略是可行的,对提高飞秒激光烧蚀硅晶片的质量具有借鉴价值。
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