提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度,避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差;通过算法的处理,将监控信号和光学厚度间的非线性关系转变成了线性关系,并推算出最佳起判时间,避免了监控薄膜沉积时非线性误差对极值点判别的影响。
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