单能、超大发散角及匀流密度离子源

作者：张立新

来源：西安工业大学学报, 2018, 38(06): 596.

<正>该成果为一种能够产生单一离子能量的,同时发散角可以根据实际需要进行调节,且在发散角内离子束流密度均匀一致的离子源。主要包括:放电室、离子束引出栅、聚焦磁场、离子能量选择器、能量调节电磁场、扫描磁场、驱动电路及控制系统等。性能指标特点突出,输出束流:大于100mA;功耗:<500 W;离子束发散角:0～180°可