针对太赫兹波扫描成像系统要求,在"步进电机+丝杠螺母"传动机构基础上加入光栅尺作为反馈元件,设计一种位置闭环控制的XY扫描台。选用上位机和运动控制卡作为扫描台控制系统核心,采用VC++6. 0语言,利用运动函数库开发扫描控制软件,实现扫描参数配置、扫描轨迹生成、运动控制等功能模块,完成扫描台定点、连续运动。实验结果表明:扫描台稳定可靠,定位误差控制在0. 05 mm以内,满足了太赫兹波扫描成像定位需求。
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