精细化管理-基于制程设备差异的SPC控制图建立方式探讨

作者：陈嘉丰; 杨勤月; 谢家兵; 王磊; 黄渊; 杨开新

来源：电子世界, 2019, (20): 5-9.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2019.20.001

<正>随着市场竞争的日益激烈,为控制和提高产品品质,许多企业都采用SPC(Statistical Process Control)技术实时监控制程,科学预警产品品质的异常波动,以便及时采取措施,消除异常,恢复稳定生产。在生产过程中,设备腔室(chamber)间的差异不可避免,且对控制图敏感度、报警准确性,甚至最终的产品品质都有直接影响。本文通过对设备chamber间差异识别、数据正态性分析等方面进行梳理,提出了建立控制图的完整流程,进而提高SPC系统的过程控制和诊断能力。