摘要

光学读出微悬臂梁对红外辐射具有很高的灵敏度与热响应速率,十分适用于火焰探测领域.当火焰所产生红外辐射入射到微悬臂梁阵列时,相应的微悬臂梁单元会发生形变,通过光学读出系统将这种变化成像在相机上,就能够获得火焰的图像信息.根据理论计算,微悬臂梁的像元尺寸为100μm×80μm时,热响应时间为20.5 ms.由于此系统不受可见光干扰,使用阈值法对图像进行处理后,能够得到清晰的火焰图像.实验表明:此系统可达到100帧/s的火焰图像处理速度,极大降低了火焰检测的响应时间,提高了火焰的检测速度.