一种防腐耐磨的多组元硬质复合涂层的制备方法

作者:李海涛; 陈宜; 程东海; 刘**; 邓黎鹏; 王德; 白杨
来源:2020-09-04, 中国, CN202010922582.4.

摘要

本发明公开了一种防腐耐磨多组元硬质复合涂层的制备方法,以提高基体材料的使用寿命,解决基体材料硬度低、不耐磨、不耐蚀的问题,方法:一、基体的前处理;二、镀层前准备;三、离子注入氮化层的制备;四、ZrAl层的制备;五、ZrAlN层的制备;六、TiSiAlZrN层的制备;七、TiSiAlZrCN层的制备,本发明将离子注入与磁控溅射技术结合,将直流电源、偏压电源和脉冲电源结合在一起制备复合涂层,简单,制备周期短,沉积效率高,涂层与基体结合强度高,涂层致密,性能优异,这对于镁合金、高速钢、钛合金等多种基体表面性能的提高以及扩大基体材料的应用,减少磨损和腐蚀消耗,节约资源等方面有着重要意义和前景。