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摘要
本发明公开了一种电子微镜器件的测试方法及装置,测试装置包括：一核心逻辑功能验证电路；一高速数据存储器；一控制信号产生器；一测试信号发生器以及一测试信号检测器；测试方法是：核心逻辑功能验证电路接收到指令后,产生原始数据帧并存储,接着原始数据帧被核心逻辑功能验证电路计算转换为位数据帧,送出到被测器件的信号是位数据帧的串行化；被测器件接收到串行化的位数据帧后,其相应的单元会产生置位或者复位；测试信号检测器逐检测这些置位或者复位,并存储与于数据存储器中,得到位效果数据帧；以判断被测器件是否功能正常及故障点位置。本发明为电子微镜器件批量生产提供了一种有效的检测及验证工具,是目前商用IC测试设备所不具备的。
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