不同腔体结构对优化等离子灰化效果探究

作者：刘晓玲

来源：电子工业专用设备, 2023, 52(03): 5-61.

• 等离子灰化
• 灰化速率
• 灰化均匀性

为了提高低压等离子灰化工艺的均匀性指标，通过对不同光刻胶灰化工艺效果进行采集分析，针对圆柱形石英工艺腔进行参数优化，着重分析了腔体结构与灰化效果的关系，分别通过ANSYS软件仿真及实际工艺验证，归纳出工艺腔体结构与灰化工艺片内均匀性之间的关系，得出符合工业生产要求均匀性指标的腔体结构参数。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所