为了提高低压等离子灰化工艺的均匀性指标,通过对不同光刻胶灰化工艺效果进行采集分析,针对圆柱形石英工艺腔进行参数优化,着重分析了腔体结构与灰化效果的关系,分别通过ANSYS软件仿真及实际工艺验证,归纳出工艺腔体结构与灰化工艺片内均匀性之间的关系,得出符合工业生产要求均匀性指标的腔体结构参数。