磁控溅射制备PET非织造布基Ag膜的结构及其电磁屏蔽性能

作者：徐文正; 魏取福^*; 袁小红; 魏安方; 凤权

来源：材料科学与工程学报, 2018, 36(06): 932-992.

DOI：10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2018.06.014

• 磁控溅射
• 银
• PET非织造布
• 电磁屏蔽

采用直流磁控溅射技术在PET非织布表面沉积Ag膜,利用正交试验法分析磁控溅射工艺参数对其电磁屏蔽效能(SE)的影响,结果表明磁控溅射工艺参数对电磁屏蔽效能的影响次序为溅射功率、溅射时间、溅射压强;最佳工艺参数分别为:30W、15min、0.5Pa,在30M～1.5GHz频率范围内,其屏蔽效能均值达到39.37dB。进一步采用多种表征手段分析其物理结构特征及表面状态,结果显示Ag在PET纤维表面成膜致密,分布均匀,结晶性能良好,且以单质银的形态存在。

• 单位
  江南大学; 安徽工程大学