基于压电陶瓷薄膜的液滴微机电系统火工品作动装置

作者：徐瀚洋; 田文超; 任炜; 常英珂; 陈志强

来源：2022-12-01, 中国, CN202211536349.8.

一种基于压电陶瓷薄膜的液滴微机电系统火工品作动装置,包括封装为一体下基板、中间基板、上基板；上基板的上表面对称设有第一、第二压电陶瓷薄膜,下表面设有第一、第二背腔；中间基板上设有变截面微流道,变截面微流道包括宽截面和窄截面,宽截面位于第一、第二背腔的正下方,宽截面内装有水银液滴,窄截面内设有隔爆滑块,隔爆滑块两侧的第一、第二空腔内设有第一、第二止动片；下基板上设有压力平衡槽；上基板上设有上导爆孔,下基板上设有下导爆孔；本发明降低作动装置的作动时间,降低火工品引发后的冲击加速度,增加MEMS火工品作动装置抗外界加速度信号干扰的能力；结合MEMS工艺,减小作动装置体积和成本。

• 单位
  西安电子科技大学