一种基于微流道散热器的自适应散热微系统

作者：王韬^*; 安春全; 王杰军; 吴传贵

来源：电子元件与材料, 2020, 39(06): 55-60.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.06.010

• 微流道散热器
• 温度传感器
• 自适应散热
• 闭环反馈控制
• 精确控温

随着功率芯片的功率增大,散热问题日益突出。针对功率芯片热流密度大、温度波动大、阵列芯片间温度差异大的问题,本文提出了一种基于微流道散热器的自适应散热微系统。通过在微流道散热器的流道底部集成温度传感器,实现了微流道内温度的实时监测和控制;通过整个系统的闭环反馈控制,并结合自适应控制算法,使微流道散热器的温度始终保持在一个设定温度基本不变。该系统具有散热能力强、温度控制精确、时间尺度上的温度均匀性好的优点,可以显著提高功率芯片的稳定性,适用于电子芯片、功率器件或其他设备的热管理使用。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学