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摘要
本发明公开了一种基于微分几何的柔性IC基板线路刻蚀缺陷检测方法及系统,该方法包括以下步骤：获取柔性IC基板图像；将图像转换为灰度图像作为处理对象；图像预处理；使用Jacob Eliosoff准则的摩尔邻域边界跟踪算法提取轮廓并对轮廓进行高斯平滑；使用基于欧式距离权重因子的双向差分法计算轮廓曲率,根据轮廓曲率的变化和变化的方向判断是否存在过刻蚀或欠刻蚀缺陷。本发明通过线路轮廓曲率的变化检测刻蚀缺陷,将刻蚀缺陷检测问题转化为线路轮廓提取和轮廓曲率计算问题,可用于解决柔性IC基板线路过刻蚀和欠刻蚀缺陷的检测问题。
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单位华南理工大学; 广州现代产业技术研究院
