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摘要
紫外显微检测系统在生命科学及半导体工业等领域具有越来越广泛的应用,筒镜是无限共轭显微系统的重要组成部分。针对目前紫外显微筒镜系统对变倍性能的要求与变倍精确性之间存在的矛盾,设计了一款工作波段为355～500nm,具有三倍率、高分辨率、大视场及低畸变特性的近紫外-可见筒镜系统。其结构特殊之处在于由共用前固定组和齐焦后更换组构成,可通过更换后组实现筒镜放大倍率的准确切换。使用Zemax软件对筒镜系统进行优化设计,并分析了系统的像差和调制传递函数。设计结果表明:系统在三种倍率模式下,空间频率70lp/mm处系统各视场的MTF均接近衍射极限;畸变均小于0.5%,具有高相对像面照度,在合理的公差参数下能较好地满足设计指标,可适配多种紫外显微物镜进行准确的显微检测成像。
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