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摘要
针对由压电陶瓷驱动的微定位平台工作行程不足的问题,设计了一种基于二级杠杆机构的二自由度微定位平台。考虑到不同柔性铰链的物理特性,通过差异化的铰链组合方式来优化新型二自由度微定位平台的性能,使其具有较快响应速度和大范围输出位移。基于拉格朗日定理,构建了新型二自由度微定位平台的刚度模型,并推导了其固有频率的解析表达式。有限元仿真结果表明,该二自由度微定位平台刚度模型的误差较小,验证了刚度建模方法的准确性和可靠性。研究结果可为柔性精密微定位平台的构型设计和建模分析提供一定的理论指导。
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单位机电工程学院
