一种基于磁控溅射的GaAs太阳能电池用减反射膜及其制备方法与应用

作者：李小强; 吴立宇; 张泽桦; 余梓枫; 吴祖骥; 屈盛官; 杨超

来源：2021-06-18, 中国, CN202110681570.1.

本发明公开了一种基于磁控溅射的GaAs太阳能电池用减反射膜及其制备方法与应用。所述减反射膜包括ZnO层及SiO-2层,所述ZnO层及SiO-2层交替堆叠,所述ZnO层及SiO-2层的光学厚度分别为各层对应材料参考波长的0.1～0.25倍；所述ZnO层的折射率为1.9～2.1,所述SiO-2层的折射率为1.4～1.6。本发明制备的减反射膜在宽光谱范围内与太阳光谱有较好的匹配性(300～1400nm范围内最优平均反射率低至7.05％),减反射效果较常规的减反射膜体系有所提升。

• 单位
  华南理工大学