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摘要
高功率下光束质量恶化问题制约着锥形激光器的发展，基于腔面光学薄膜，研究腔面反射对光束质量的影响。建立不包含抗反射结构的物理模型，采用锥形激光器的电光模型进行仿真，分析不同腔面反射率下器件的光场分布。结果表明，传统锥形激光器中存在强烈的光泵、光束成丝、自聚焦和空间烧孔，来自腔面的剩余反射引发了上述非线性效应，最终影响光束质量。前腔面反射在此过程中起着关键作用，后腔面对光束质量同样有较大影响。通过优化腔面反射率，提出两种优化路径，部分设计的光束质量因子小于2，实现了高光束质量，为锥形激光器的设计提供参考。
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单位中国科学院半导体研究所; 中国科学院大学; 集成光电子学国家重点实验室
