基于Oliver-Pharr方法和断裂韧度测试方法成功研制了一台微米尺度压痕测试设备，使用有限元方法对其机械可靠性进行验证，并利用该设备测试了高纯铝和氧化锆陶瓷的力学性能参数，验证设备的测试性能。结果表明：所研制的微米尺度压痕测试设备结构稳定，设计合理，闭环控制稳定性好，噪声水平较低，满足测试要求。采用该设备在不同压入载荷下测得高纯铝及氧化锆陶瓷的硬度、弹性模量以及断裂韧度与使用标准压痕设备测试得到的结果一致，相对误差小于7%,证明了该设备测试结果的准确性。
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