硅纳米线肖特基结型太阳能电池及其制备方法

作者:揭建胜; 谢超; 吴春燕; 王莉; 彭强; 于永强; 郭惠尔; 朱志峰
来源:2012-02-17, 中国, CN201210037106.X.

摘要

本发明公开了一种硅纳米线肖特基结型太阳能电池,其特征是具有如下结构:在带有SiO2层的Si基底的SiO2层的表面分散有平铺的硅纳米线,设置在SiO2层上的源漏电极与硅纳米线形成欧姆接触,作为硅纳米线端输出电极,设置在SiO2层上的栅极电极与硅纳米线形成肖特基结,作为太阳能电池肖特基结另一端输出电极。本发明工艺简单、适合大规模生产,可制备光吸收能力强、光电转换效率高的太阳能电池,为硅纳米结构在太阳能电池的应用中奠定了基础。