小间隙静电放电中电极移动速度对放电参数影响的内部因素,是受到很多研究者关心的问题。通过对实验数据的系统分析,应用流体力学中Bernoulli定律,对放电参数电极速度效应的内部原因,提出了较好的理论解释。电极的快速运动速度造成了放电间隙气体压强的下降,从而加速了载流子从电极到靶的运动过程,进而明显改变了放电参数的数值。初步的数值计算表明,表面过程因电极快速移动得到了加强。这对于电极移动速度效应进一步的研究,给出了一种较为明确的方向。
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